# ASML und TSMC planen Pilotlinie für 12-Zoll-Photomasken bis 2031

> Die Initiative zielt auf ein größeres Maskenformat für High-NA-EUV-Lithografie

- Kanonische URL: https://newsverum.com/de/news/asml-tsmc-industry-initiative-targets-12-inch-photomask-pilot-by-2031
- Herausgeber: Newsverum
- Rubrik: Technologie
- Land: Niederlande
- Veröffentlicht: 2026-10-07T21:41:38+00:00
- Aktualisiert: 2026-10-07T21:41:38+00:00
- Ereignis- oder Datenzeitraum: 2026-09-07
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ASML und TSMC erklärten, am 7. September eine Brancheninitiative für den Übergang zu 12-Zoll-Photomasken gegründet zu haben. Die Halbleiterindustrie nutzt seit Langem 6-Zoll-Masken; nach Angaben der Partner könnte ein größeres Format den Einsatz der High-NA-EUV-Lithografie unterstützen.

Die Unternehmen streben eine Pilotlinie für 12-Zoll-Masken bis 2031 und die Bereitschaft von Lithografiesystemen für die Fertigung fortgeschrittener Prozessknoten bis 2033 an. Dies sind branchenweite Ziele der Partner, keine niederländische Produktionslinie oder bereits vorhandene Kapazität.

## Daten

### ASML-TSMC-Initiative zu 12-Zoll-Photomasken, angekündigte Meilensteine

Unternehmensziele einer Brancheninitiative; Pilotlinie und Systembereitschaft sind künftige Meilensteine

Methodik: Ziele aus der ASML-TSMC-Ankündigung vom September 2026 für eine globale Brancheninitiative; künftige Meilensteine.

| Meilenstein | Angekündigtes Ziel |
|---|---|
| 12-inch photomask pilot line | Targeted by 2031 |
| Lithography system readiness for advanced-node production | Targeted by 2033 |

Quellen: <https://investor.asml.com/news-releases/news-release-details/asml-and-tsmc-announce-initiative-pioneer-industry-transition-large-format-photomasks-high-na-euv> · Daten herunterladen: [JSON](https://newsverum.com/api/v1/articles/asml-tsmc-industry-initiative-targets-12-inch-photomask-pilot-by-2031/data/reported-figures?lang=de&format=json) · [CSV](https://newsverum.com/api/v1/articles/asml-tsmc-industry-initiative-targets-12-inch-photomask-pilot-by-2031/data/reported-figures?lang=de&format=csv)

## Quellen

- [ASML Holding N.V. and Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC)](<https://investor.asml.com/news-releases/news-release-details/asml-and-tsmc-announce-initiative-pioneer-industry-transition-large-format-photomasks-high-na-euv>) (Quelle geprüft: 2026-10-07; Veröffentlicht: 2026-09-08)

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